http://www.shinsho.co.jp/topics/kikai-spat.html >ターゲット材とガラス基板を真空容器の中で向かい合わせに置き、薄いアルゴンガスを >入れ電気をかけることでアルゴンをイオン化し、そのイオンをターゲット材にぶつけて >原子をたたき出し、たたき出された原子をガラス基板上に積もらせて配線膜とする