無窮ナレッジ

▼ CMOSゲート絶縁膜中の微量窒素の濃度と結合状態を解析する新技術

http://www.edresearch.co.jp/mtb/0303/059.html 
http://pr.fujitsu.com/jp/news/2003/03/11-1.html 
富士通研究所による。11日発表。