http://www.jij.co.jp/news/chemical/art-20030828192644-OUWHJFOQFD.nwc
日本工業新聞 2003/ 8/29。 東京都立産業技術研究所、東京大学先端科学技術研究センター、上島熱処理工業所 による。 チップの表面を被覆する窒化チタン薄膜に塩素イオンを注入することで実現。薄膜表面 の摩擦を従来の約4分の1に低減でき、凝着が起きない。