▼物材機構が金属で5ナノ以下の構造を作製

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日本工業新聞 2003/ 3/25。日本物理学会、日本応用物理学会、日本金属学会で
28日に発表。
 
物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所 古屋一夫ディレクターらのグループ
による。
 
基板表面に有機金属化合物(タングステンカルボニル)のガスを流し、電子線
(加速電圧 200kV )を照射、金属を蒸着させるもの。