無窮ナレッジ

▼物材機構が金属で5ナノ以下の構造を作製

http://www.jij.co.jp/news/ene/art-20030324190334-BVDUQQFCIC.nwc 
http://www.nims.go.jp/nims/former/info/press44.pdf 
日本工業新聞 2003/ 3/25。日本物理学会、日本応用物理学会、日本金属学会で
28日に発表。
 
物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所 古屋一夫ディレクターらのグループ
による。
 
基板表面に有機金属化合物(タングステンカルボニル)のガスを流し、電子線
(加速電圧 200kV )を照射、金属を蒸着させるもの。